歐姆龍EE-SPY801說(shuō)明書(shū)手冊(cè)
EE-SPY801 選型資料選型手冊(cè)
EE-SPY801 使用說(shuō)明書(shū)
歐姆龍EE-SPY801產(chǎn)品信息及技術(shù)參數(shù):
品牌:
歐姆龍
產(chǎn)品名稱(chēng): 晶圓片托架落座傳感器
型號(hào): EE-SPY801
晶圓片托架的落座檢測(cè)。
通過(guò)與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹(shù)脂。
獨(dú)有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測(cè)所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式。
使用環(huán)保導(dǎo)線(xiàn)(無(wú)滑石粉)。
檢測(cè)方式:反射型。
檢測(cè)距離:紅外光0~3mm。
動(dòng)作模式:有晶圓片托架時(shí)ON。
導(dǎo)線(xiàn)長(zhǎng):2m。
歐姆龍EE-SPY801其它性能說(shuō)明:
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