晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E3JK-TP-L使用手冊。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2mE3JK-TP-L本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出點型（電源AC00～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻E3JK-TP-L使用手冊。
輔助輸出點數：2點。
加熱器用斷線、R故障、加熱器過電流檢測功能E用電源：--。
事件輸入點數：--。
傳送輸出：--。
通信：--。
48mm的通用溫控器已升級＆功能性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，
性能進一步提升。
E5CN-U（插入型）新增模擬輸入型和電流輸出型。
增加PVV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態（自動手動、RUNTOP、報警發生），
可交互顯示PVV。
增加控制輸出ONOFF次數計數功能，可預防維護溫控器內部繼電器。激光型反射板近薄膜型大功率白色LED＋多重RG處理，無須使用不同光源。
導線引出型2米。
分類制輸出2點型（電源AC00～240V用）E3JK-TP-L使用手冊。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（R驅動用）。
控制輸出2：電壓輸出（R驅動用）
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：2點。
加熱器用斷線、R故障、加熱器過電流檢測功能E用電源：--。
事件輸入點數：2點。
傳送輸出：--。
通信：--。
48mm的通用溫控器已升級＆功能性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，
性能進一步提升。
E5CN-U（插入型）新增模擬輸入型和電流輸出型。
增加PVV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態（自動手動、RUNTOP、報警發生），
可交互顯示PVV。
增加控制輸出ONOFF次數計數功能，可預防維護溫控器內部繼電電器E3JK-TP-L使用說明書。實現了小型規格、和豐富的機種。
5.5mm小型內置放放大器E3JK-TP-L使用說明書。
長檢測距離2.5mm。工件晃動也能穩定檢測。
響應頻率kz。
低消耗電流。
種類：直流3線式。
形狀：非屏蔽。
檢測面：上面。
檢測距離：.6mm。
輸出形式：NPN。
動作模式：NC。