晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E5CN-QQ2D參數。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2mE5CN-QQ2DE3FA塑料外殼。
傳感器類型：同軸回歸反射型(帶M..R.功能)。
檢測距離：0-500mm 使用E39-R。
連接方式：電纜式。
輸出方式：PNPE5CN-QQ2D參數。端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D：φ8mm。
保護管長度L：20cm。
導線種類：耐熱用。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。E3JK-R2回歸反射型，
E3JK直流型：模式；入光ON，
小型放大器內置型光電開關尺寸：48×48mm，端子臺型。
種類：控制輸出點型（電源ACDC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（R驅動用）。
控制模式：標準或點數：2點E5CN-QQ2D參數。
傳送輸出：--。
通信：R-485。
新增程序型。
采用大256段程序容量，較高性價比的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
可設定多8個程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位顯示可顯示0.0°C（實現了48×48mm的小尺寸）。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶Pt模擬輸入切換），
臺機器支持多種傳感器。
增加PVV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態
（自動手動、RUNREET、報警發生），
可交互顯示PVV。
通過支持軟件（CX-Thermo Ver.4.3），
在簡易運算功能（ANDOR邏輯和）。
設定中輕松設定能夠執行柔性的接點輸出的程序設定。
控制輸出ONOFF次數計數功能可預測溫控器內部繼電器的故障。種類：直流2線式(無自診斷輸出功能)，屏蔽型。
形狀：M8。
檢測距離：7mm。
連接方式：M2 接插件型。
導線規格：-。
極性：有。
動作模式NO。
會提示線圈斷線等故障及檢測不穩定狀態的自診斷功能輸出型品種齊全。
有助于實現預防性維護，防止生產線停轉。
簡化配線過程，降低資源使用，有效減小功耗，，助力環保事業E5CN-QQ2D通訊手冊。
配線作業時間及銅線使用量僅為3線式的三分之二。
電流流消耗量大幅降低至0%以下E5CN-QQ2D通訊手冊。 (直流2線式與直流3線式相比)
所有小口徑型號均采用屏蔽結構。
即使將傳感器安裝在狹小區域或嵌入金屬中，仍然具有較高的工作穩定性。
配有明亮醒目的指示燈，輕松查看安裝環境。