E3Z-L63檢測方式:距離設定型。
連接方式:導線引出式（2m）3。
檢測距離:2-20mm(Gmin設定）;2-80mm(Gmax設定)。
輸出方式：NPN輸出E5AN-TPRR202F-FLK手冊。
實現小型、長距離、節省電力和
節省能源的光電傳感器的標準型
尺寸：48×48mm。
本體：端子臺型。
種類：控制輸出點型（電源AC00～240V用）E5AN-TPRR202F-FLK
外殼顏色：銀色。
控制輸出：繼電器輸出。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：2點E5AN-TPRR202F-FLK手冊。
加熱器用斷線、R故障檢測功能：單相加熱器用檢測功能。
事件輸入點數：2點。
傳送輸出：--。
通信：--。
通用溫控器新增（高分辨率、高速、輸入）型產品。
支持簡易運算、預防維護，采用新型液晶，可視角度、對比度得以提升。
高分辨率的5位顯示可顯示0.0°C（實現了48×48mm的小尺寸）。
高速采樣周期60ms。
全部機型（熱電偶Pt模擬輸入切換），臺機器支持多種傳感器。
增加PVV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態。
（自動手動、RUNTOP、報警發生），可交互顯示PVV。
通過支持軟件（CX-ThermoVer.4.0）進行簡易運算功能（溫控器內部繼電器的故障保護管長度:75cmE5AN-TPRR202F-FLK手冊。
保護管直徑：D＝6.4。
L2：700mm。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。采用單穩示教，即使是抖動的工件也能準確檢測。
分類：接插件型。
功能：定時器 響應速度切換。
控制輸出：NPN輸出。端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D:φ3.2mm。
保護管長度L：35cm。
導線種類：一般用。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。
晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。E5AN-TPRR202F-FLK通訊手冊。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂脂E5AN-TPRR202F-FLK通訊手冊。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2m。