監測2波長的等離子發光量。
實現了高精度、小型化、低價格。
輕松實現蝕刻和清潔的端點的監測。
輕公地進行蝕刻、清潔的等離子發光的監測。
通過用過濾方式檢測2波長，實現小型化、低價格ZX-LDA11-N基礎知識。分類：防滴型，標準型。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：針狀柱塞型。
端子的種類：螺絲端子ZX-LDA11-N
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高ZX-LDA11-N基礎知識。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。分類：標準型。
接點間隔：G(0.5mm)。
驅動桿：針狀柱塞型。
端子的種類：焊接端子ZX-LDA11-N基礎知識。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。分類：防滴型，標準型ZX-LDA11-N(選型資料)。
接點間隔：G (0.5mm)。
防滴端子保護蓋：無。
驅動桿：滾珠短擺桿型。
端子的種類：螺絲端子。
以高精度和豐富品種著稱最暢銷的基本型開關。
斷路容量達15A，且精度高。
備有微動開關的基本型，根據用途不同，
還有基本型、分割接觸型、維持接觸型等豐富品種。
標準型中還有微小負載用系列ZX-LDA11-N(選型資料)。
備有保護端子部位的安全，
且具有防滴功能的防滴端子保護蓋和塑封端子型。品名：粗粒測量型5μm (10μm) /20μm (30μm) /50μm或以上（ ）。
內的數值可通過設定進行選擇。
電源：DC電纜ZX-LDA11-N(選型資料)。
常時監視影響產品質量的灰塵和微粒。
適宜常時測量的緊湊設計。
搭載LAN端口等多種I/F。
高精度測量浮游的微粒。
1臺傳感器既可測量粗粒，又能調查塵源。單位：擴展I/O單元。
名稱：通信類型。
I/O點數：8點。
電源電壓：DC12～24V。
輸入：4點，DC12～24V。
繼電器輸出：4點。
使用增強功能和更高精確度，應用范圍更廣
纖巧本體（70mm寬×90mm高）中的增強功能。
使用LCD和操作按鈕可進行簡單編程。
此單個單元輕松提供繼電器、定時器、計數器和時間間切換功能ZX-LDA11-N選型手冊。
使用擴展I/O單元可輕松擴展，最多允許44點I/O。
系列列中還新增了經濟型和通信型CPU單元ZX-LDA11-N基礎知識。
每周定時器得以提高定時確度得以增強，每月偏差不超過正負15s。
還新增了多日操作和脈沖輸出操作。
從以下兩個電源選件中選?。篈C100～240V或DC12～24V。