晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E5EN-Q303TD-FLK-N手冊。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2mE5EN-Q303TD-FLK-N尺寸：48×48mm，端子臺型。
種類：控制輸出點型（電源ACDC24V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：線性電壓輸出E5EN-Q303TD-FLK-N手冊。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：2點。
加熱器斷線、 R故障檢測功能：--。
事件輸入點數：--。
傳送輸出：可傳送輸出（使用控制輸出）。
通信：--。
新增程序型。
采用大256段程序容量，較高性價比的新型液晶，
可視角度、對比度得以提升。
可設定多8個程序（模式）×32段（步）的程序。
高分辨率的5位顯示可顯示0.0°C（實現了48×48mm的小尺寸）。
高速采樣周期60ms。
全部機型完整多種（能夠熱電偶Pt模擬輸入切換），
臺機器支持多種傳感器。
增加PVV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態
（自動手動、RUNREET、報功能（ANDOR邏輯和）E5EN-Q303TD-FLK-N手冊。
設定中輕松設定能夠執行柔性的接點輸出的程序設定。
控制輸出ONOFF次數計數功能可預測溫控器內部繼電器的故障。50～00mA直接開關、達到國際標準的凹槽型。
動作模式備有遮光時ON入光時ON（可切換型）。
響應頻率為kz的高速響應。
入光指示燈明顯，便于進行動作確認。
電源電壓為DC5～24V的廣范圍。
備有遮光時入光指示燈亮燈型。
8種形狀、種類豐富。
標準采用柔韌性佳的耐曲折導線。
形狀：L型。
檢測方式：對射型（凹槽型）。
連接方式：接插件型（4極）。
檢測距離：5mm(凹槽寬度)。
動作模式：入光時ON。
指示燈模式：入光時亮燈。
輸出形式：NPN輸出。尺寸：96×96mm。
本體：端子臺型，溫度輸入型。
種類：控制輸出點型（電源AC00～240V用）。
外殼顏色：黑色。
控制輸出：電壓輸出（R驅動用）。
控制模式：標準或加熱冷卻。
輔助輸出點數：3點。
加熱器用斷線、R故障、加熱器過電流檢測功能E用電源：E用電源。
事件輸入點數：--。
傳送輸出：--。
通信：--。
96mm、48×96mm見方的通用溫控器已升級＆功能性能提升。
指示精度提升、增加了預防維護功能，性能進一步提升。
增加PVV狀態顯示功能，方便查看溫控器的狀態
（自動手動、RUNTOP、報警發生），可交互顯示PVVE5EN-Q303TD-FLK-N用戶手冊E5EN-Q303TD-FLK-N用戶手冊。
增加控制輸出ONOFF次數計數功能，可預防維護溫控器內部繼電器。
增加了3段顯示，可同時顯示易于理解的當前值目標值操作量。
增加了PF鍵，分配自動手動、RUNTOP等，可實現一鍵操作。